維修環(huán)境要求
潔凈室級(jí)別：半導(dǎo)體行業(yè)通常根據(jù)不同工藝需求，將潔凈室分為不同等級(jí)，如 ISO 14644 - 1 標(biāo)準(zhǔn)中的 class5(百級(jí))或更高級(jí)別。機(jī)器人維修區(qū)域應(yīng)根據(jù)所維修機(jī)器人應(yīng)用場景，設(shè)置相應(yīng)潔凈級(jí)別環(huán)境，以防止灰塵、顆粒等污染物對機(jī)器人關(guān)鍵部件造成損害。
溫濕度控制：潔凈室內(nèi)溫度一般控制在 22±2℃，濕度控制在 55±5%。適宜的溫濕度環(huán)境不僅能保證機(jī)器人零部件性能穩(wěn)定，還能減少因溫濕度變化產(chǎn)生的靜電等問題，避免靜電吸附灰塵影響潔凈度。
氣流組織：采用合理氣流組織形式，如垂直單向流或水平單向流，使室內(nèi)空氣以均勻速度和方向流動(dòng)，將灰塵等污染物迅速帶走，減少其在室內(nèi)停留和沉降的機(jī)會(huì)。同時(shí)，要確保潔凈室的滿布比符合要求，垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于 60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于 40%。
維修人員操作規(guī)范
著裝要求：維修人員進(jìn)入維修區(qū)域必須穿著潔凈工作服、工作帽、工作鞋和口罩等。工作服應(yīng)選用不掉纖維、防靜電的材質(zhì)，且要定期清洗和更換。頭發(fā)需完全包裹在帽子內(nèi)，防止頭發(fā)掉落進(jìn)入維修環(huán)境。
手部清潔：維修前，維修人員需用專用清潔劑徹底清潔雙手，并佩戴潔凈手套。操作過程中，若手套破損或污染，應(yīng)及時(shí)更換。
風(fēng)淋程序：進(jìn)入維修潔凈室前，人員必須經(jīng)過風(fēng)淋系統(tǒng)，風(fēng)淋時(shí)間通常為 20 - 30 秒，以去除工作服表面附著的灰塵等污染物。
維修工具與設(shè)備
工具清潔：維修工具應(yīng)定期清潔和消毒，可采用擦拭、浸泡等方式，去除工具表面的油污、灰塵和雜質(zhì)。對于一些易產(chǎn)生顆粒的工具，如砂紙、銼刀等，應(yīng)盡量避免在潔凈室內(nèi)使用，如需使用，需采取嚴(yán)格的防護(hù)措施。
設(shè)備選擇：優(yōu)先選擇產(chǎn)生較少顆粒和污染物的維修設(shè)備，如采用磁懸浮技術(shù)的機(jī)器人維修平臺(tái)，可避免傳統(tǒng)機(jī)械傳動(dòng)方式產(chǎn)生的磨損顆粒污染環(huán)境。同時(shí)，要定期對維修設(shè)備進(jìn)行維護(hù)和清潔，確保其處于良好運(yùn)行狀態(tài)，減少因設(shè)備故障導(dǎo)致的污染物排放。
維修過程中的潔凈度監(jiān)控
粒子監(jiān)測：在維修區(qū)域安裝粒子計(jì)數(shù)器，實(shí)時(shí)監(jiān)測空氣中的塵埃粒子數(shù)。根據(jù)維修工藝要求，設(shè)定粒子濃度報(bào)警閾值，當(dāng)粒子濃度超過閾值時(shí)，及時(shí)采取相應(yīng)措施，如增加清潔頻次、檢查潔凈室密封性能等。
微生物監(jiān)測：定期對維修環(huán)境進(jìn)行微生物采樣檢測，可采用浮游菌采樣器等設(shè)備。若發(fā)現(xiàn)微生物超標(biāo)，需對潔凈室進(jìn)行消毒處理，如使用過氧化氫、臭氧等消毒劑進(jìn)行熏蒸或噴霧消毒。
壓差監(jiān)測：維持維修潔凈室與相鄰區(qū)域的壓差穩(wěn)定，潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于 10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于 5Pa。通過壓差監(jiān)測，防止外界污染物通過門窗、縫隙等進(jìn)入維修潔凈室。
